尖端科技

CVD/ALD前驅物
CVD : Chemical Vapor Deposition(化學氣相沉積材料)
ALD:Atmic Layer Deposition(原子層氣相沉積材料)

開發、製造半導體用高純度前驅物,並提供利於地球環保的再利用技術。

開發、提供前驅物

在田中貴金屬工業中,正開發各種CVD/ALD前驅物。甚至製作半導體用薄膜的CVD裝置、評估薄膜用的各種分析儀器(FE-SEM、AFM、GD-MS等)產品俱全,依目的提供所需前驅物。

前驅物產品範例(釕)

以釕為主,正在進行貴金屬前驅物的開發。

Product Name Structure
Carish
Ru liquid precursor
Carish Ru liquid precursorのイメージ
Rudic
Ru liquid precursor
Rudic Ru liquid precursorのイメージ
DCR
Ru solid precursor
DCR Ru solid precursorのイメージ