CVD/ALD用貴金属プリカーサー
CVD : Chemical Vapor Deposition
ALD : Atomic Layer Deposition

半導体用 高純度プリカーサー開発・製造
さらに地球に優しいリサイクル技術をお届けします。

プリカーサー開発・提供

当社では様々なCVD/ALDプリカーサーを開発しております。さらに半導体用の薄膜を作製するためのCVD装置、薄膜を評価するための各種分析機器(FE-SEM、AFM、GD-MS等)を取り揃え、目的に応じたプリカーサーを提供します。

プリカーサー製品例(ルテニウム)

ルテニウムを中心に、貴金属プリカーサーの開発を行っております。

Product Name Structure
Carish
Ru liquid precursor
Carish Pale yellow liquidのイメージ
Rudic
Ru liquid precursor
Ru3(CO)12 Orange crystalのイメージ
DCR
Ru solid precursor
Ru(EtCp)2 Pale yellow liquidのイメージ
プリカーサーリサイクル技術のイメージ