첨단 기술
MOCVD / ALD 프리커서
MOCVD：Metal Organic Chemical Vapor Deposition （유기 금속 화학기상 성막 재료）
ALD：Atmic Layer Deposition （원자층 퇴적 성막 재료）
프리커서 개발・제공
TANAKA 귀금속공업에서는 다양한 CVD/ALD 프리커서를 개발하고 있습니다. 또한, 반도체용의 박막을 제작하기 위한 CVD 장치, 박막을 평가하기 위한 각종 분석기기(FE-SEM, AFM, GD-MS 등)를 갖추어 목적에 맞는 프리커서를 제공합니다.
프리커서 제품 예(루테늄)
루테늄을 중심으로 모든 귀금속 프리커서의 개발을 하고 있습니다.
| Product Name | Structure |
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Carish Pale yellow liquid |
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Ru3(CO)12 Orange crystal |
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Ru(EtCp)2 Pale yellow liquid |
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프리커서 리사이클 기술
TANAKA 귀금속공업이 개발한 리사이클 기술은 이들 미반응의 사용한 원료를 재정제해 신품과 같은 품질로 다시 제공합니다. 그렇기 때문에 원료의 합성에 필요한 귀금속・배위자(ligand)를 새롭게 조달할 필요가 없고, 대폭적인 코스트 삭감을 가능하게 해서 귀금속의 가격 변동에 좌우되지 않는 안정된 가격 유지를 실현합니다.
프리커서 리사이클 시스템 ※특허 취득
독자적인 기술에 의해 낮은 비용으로 프리커서를 리사이클 합니다
CVD/ALD 재료의 리사이클 프로세스 ※당사 특허 프로세스
