Elements Applied Uses of Precious Metals

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SEMICON West 2017 現地レポート
"The key of to Miniaturization"

北米最大の半導体およびMEMS、ディスプレイ、その他関連産業の国際総合展示会「SEMICON West」。
今年度、重要なテーマとして取り上げられ、今後の産業界を担う存在として期待される半導体の微細化に対するルテニウムプリカーサーの可能性に迫る。

研究者・開発者

Matt Watson Director : Business Development
Tanaka America Inc

Peter Beckman Director : Northwestern-Argonne
Institute of Science and Engineering

Lita Shon-roy Presidnt & CEO : Techcet

Veronique Pequignat Director : International Actions & Key
Technologies
Grenoble-Isere Aepi

ニュースリリース

NEWS2018.01.15
製品情報 / 貴金属被膜形成 / MOCVD / ALD プリカーサー

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