尖端科技

MOCVD / ALD 前驅物
MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition (有機金屬化學氣相沉積材料)
ALD:Atmic Layer Deposition (原子層氣相沉積材料)

開發、製造半導體用高純度前驅物,並提供利於地球環保的再利用技術。

開發、提供前驅物

在田中貴金屬工業中,正開發各種CVD/ALD前驅物。甚至製作半導體用薄膜的CVD裝置、評估薄膜用的各種分析儀器(FE-SEM、AFM、GD-MS等)產品俱全,依目的提供所需前驅物。

前驅物產品範例(釕)

以釕為中心,正進行所有貴金屬前驅物的開發。

Product Name Structure
Carish
Pale yellow liquid
RuCp2
Yellow white crystalline
Ru(EtCp)2
Pale yellow liquid
Ru(acac)3
Red crystalline
Product Name Structure
Ru3(CO)12
Orange crystal
RuCpBuCp
Pale yellow liquid
RuCpPrCp
Pale yellow liquid
Runish
Bitter orange color
liquid

前驅物再利用技術

田中貴金屬工業所開發的再利用技術能將這些未反應的使用過之原料再進行精製,以與新品相同的品質再次提供。因此,不需要重新調度合成原料時所需的貴金屬、配位體,可大幅降低成本,同時,在不受貴金屬價格變動影響的情況下,達到維持穩定價格。

前驅物再利用系統 ※取得專利

透過獨家技術,以低成本將前驅物再利用。

CVD/ALD材料的再利用製程 ※本公司專利製程