F-7 有機貴金属化学気相成膜材料（MOCVD）/原子層堆積成膜材料（ALD）プリカーサー
MOCVD：Metal Organic Chemical Vapor Deposition
ALD：Atmic Layer Deposition
半導体用 高純度プリカーサー開発・製造
さらに地球に優しいリサイクル技術をお届けします。
プリカーサー開発・提供
田中貴金属工業では様々なCVD／ALDプリカーサーを開発しております。さらに半導体用の薄膜を作製するためのCVD装置、薄膜を評価するための各種分析機器（FE-SEM、AFM、GD-MS等）を取り揃え、目的に応じたプリカーサーを提供します。
プリカーサー製品例（ルテニウム）
ルテニウムを中心に、全ての貴金属プリカーサーの開発を行っております
| Chemical Name | Structure |
|---|---|
RuCp2 Yellow white crystalline |
 |
Ru(EtCp)2 Pale yellow liquid |
 |
Ru(acac)3 Red crystalline |
 |
| Chemical Name | Structure |
|---|---|
RuCpBuCp Pale yellow liquid |
 |
RuCpPrCp Pale yellow liquid |
 |
Ru(nbd)(iHD)2 Bitter orange color liquid |
 |
プリカーサーリサイクル技術
田中貴金属工業が開発したリサイクル技術は、これら未反応の使用済み原料を再精製し、新品同様の品質で再提供します。そのため、原料の合成に必要な貴金属・配位子を新たに調達する必要がなく大幅なコスト削減を可能にし、貴金属の価格変動に左右されない安定した価格維持を実現します。
プリカーサーリサイクルシステム ※特許取得
独自の技術により、低コストでプリカーサーをリサイクルいたします
