A-5 めっき装置
めっき技術の先端をいく
高性能なめっき装置をお届けします。
量産システムから実験・少量生産までニーズに合わせた各種ウェハーめっき装置をお届けします。ケミカルプロセスとのマッチングを追求したトータルシステムは、大口径・微細化と進む技術にも高パフォーマンスでお応えしています。
ウェハーバンプ対応プレイティングシステム
量産型フルオート機 ポスファーCシリーズ
特長
- 生産計画にあわせた増設設計が可能
- 高品質の析出物を引き出すプロセスコントロール機能
- 自動／手動など任意に設定できる高操作性
- 対応ウェハー ： 100～200mm
ポスファーC12
実験・少量生産向セミオート機 カッププレーター
特長
- 実験試作段階から量産規模まで用途に合わせたシステム構築
- セミオートタイプならではのメンテナンス性と実用性
- 対応ウェハー ： 100～200mm
カッププレーター
300mmウェハー対応プレイティングシステム
オートメーションライン対応量産型フルオート機 ポスファー300
特長
- 300mmウェハーオートメーションラインにそのままインストール可能
- 大口径ウェハーでの高搬送機能をもつ量産機種
- オリジナル設計による生産性の向上とフットプリント縮小化の実現
- SEMI、CEマーキング対応
ポスファー300
ウェハーレベルCSP対応プレイティングシステム
ポスファーM
特長
- 1装置内で連続した多種類のめっきを行う全自動タイプ
- ユニット単位で増設設計が可能
- 対応ウェハー ： 100～200mm
ポスファーM
