溶解法によるスパッタリングターゲットと真空蒸着材

ターゲット、蒸着材ともに
高純度の製品をお届けします。

半導体をはじめ、さまざまな産業分野で活躍する貴金属薄膜。
用途に応じて、多様な形状、寸法に対応した高純度スパッタリングターゲット、蒸着材料を提供いたします。
各種素材のご検討の際には、スパッタリングによる成膜テストも承ります。

プレーナーターゲット、蒸着材

溶解法によるターゲット・蒸着材の製品イメージ

円筒ターゲット

反射膜・電極用銀合金ターゲットの製品イメージ

溶解法によるターゲット・蒸着材

特長

  • ・ピンホール、酸化物、ガス等欠陥のないターゲット材
  • ・超音波探傷によるバッキングプレート接合率の品質保証体制
  • ・貴金属の高純度蒸着材として、粒、ブロック、ロッド、ワイヤ等の形状にも供給可能
  • ・装置・治具等から回収した貴金属からの製品への補充も可能
  • ・結晶サイズも微細なものから粗大なものまで要求に応じて調整可能
  • ・高効率を実現させたAg系円筒ターゲット

種類

材質 標準品(wt%) 高純度品(wt%) 合金
金系 99.99 99.999 AuSi、AuZn、AuSb、AuSn他
カラットAu(K9~K18)
白金系 99.99 - -
イリジウム系※1 99.9 99.99 -
ロジウム系※1 99.9 - 各種
パラジウム系 99.9 - -
銀系※2 99.99 - 各種

※1. イリジウム、ロジウムの高融点材料も溶解法により、酸化物、ガス、空孔等欠陥のない鋳塊から製造いたします。
※2. 純銀の耐環境性(耐硫化、耐湿度)を改善した銀合金を製造しています。

用途

  • ・ダイボンド用薄膜
  • ・発光ダイオード(LED)用電極膜
  • ・水晶振動子用電極膜
  • ・薄膜太陽電池パネル用反射膜
  • ・建材用高機能ガラス(Low-eガラス)用機能膜
  • ・CD-R、DVD、BD用反射膜、透過膜
  • ・有機EL用反射膜、タッチパネル用電極膜
  • ・PDP用透過膜、LCD用反射膜
  • ・電子デバイスのゲート電極膜
  • ・電子デバイス・酸化物誘電体素子の電極膜
  • ・各種センサ用電極膜

反射膜・電極用銀合金ターゲット

特長

印刷層、保護層、反射・記録層、樹脂層の積層構造からなるDVDやBDなど反射・記録層には蒸着材が使われており、直射日光や高温・多湿を嫌う製品性質上、貴金属(反射膜)が用いられます。蒸着した反射膜によって製品寿命が決定され、精度が悪いと印刷・反射層が端からはがれてきたり、水分が反射膜に浸透して錆びてしまい反射の機能を失うなど短寿命となってしまいます。当社では、反射・透過膜用として耐環境性に優れた貴金属(純銀、銀合金 他)ターゲットを供給しています。

純銀と、当社開発の銀合金との比較

スパッタ直後の反射率

スパッタ直後の反射率

加湿試験後の反射率(85℃ 95%rh)

加湿試験後の反射率(85℃ 95%rh)

表面状態の変化(AFM)

  Ag Ag alloy
asdepo
250℃ 3hr