めっき装置

めっき技術の先端をいく
高性能なめっき装置をお届けします。

めっき装置のイメージ

量産システムから実験・少量生産までニーズに合わせた各種ウェハーめっき装置をお届けします。ケミカルプロセスとのマッチングを追求したトータルシステムは、大口径・微細化と進む技術にも高パフォーマンスでお応えしています。

300mmウェハー対応プレイティングシステム

オートメーションライン対応量産型フルオート機 ポスファー300

ポスファー300のイメージ
  • ・300mmオートメーションラインに
  •  そのままインストール可能
  • ・大口径ウェハーでの高搬送機能をもつ量産機種
  • ・SEMI、CEマーキング対応
  • ・対応ウェハー:300mm

ウェハーバンプ対応プレイティングシステム

量産型フルオート機 ポスファーCシリーズ

ポスファーC12のイメージ
  • ・生産計画にあわせた増設設計が可能
  • ・高品質の析出物を引き出す
     プロセスコントロール機能
  • ・自動/手動など任意に設定できる高操作性
  • ・対応ウェハー : 100~200mm

CSP、ビア、MEMS 対応プレイティングシステム

量産型フルオートコンパクト機 ポスファーE

ポスファーEのイメージ
  • ・フットプリントを40%削減(当社比)
  • ・カップ内にパドル攪拌機構を有したStir-Cupを搭載
    (バンプ、ビア、再配線、W-CSP、MEMSに最適)
  • ・対応ウェハー : 100~200mm

ウェハーレベルCSP対応プレイティングシステム

量産型フルオート機(多層膜形成) ポスファーM

ポスファーMのイメージ
  • ・多層めっきを行う全自動タイプ
  • ・ユニット単位で増設設計が可能
  • ・対応ウェハー : 100~200mm

実験・少量生産対応プレイティングシステム

実験・少量生産向セミオート機 スターカッププレーター/カッププレーター

スターカッププレーター/カッププレーターのイメージ
  • ・実験試作段階から量産規模まで
  •  用途に合わせたシステム構築
  • ・セミオートタイプならではのメンテナンス性と実用性
  • ・対応ウェハー : 100~300mm

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