MOCVD / ALD プリカーサー
MOCVD:Metal Organic Chemical Vapor Deposition (有機金属化学気相成膜材料)
ALD:Atmic Layer Deposition (原子層堆積成膜材料)

半導体用 高純度プリカーサー開発・製造
さらに地球に優しいリサイクル技術をお届けします。

プリカーサー開発・提供

当社では様々なCVD/ALDプリカーサーを開発しております。さらに半導体用の薄膜を作製するためのCVD装置、薄膜を評価するための各種分析機器(FE-SEM、AFM、GD-MS等)を取り揃え、目的に応じたプリカーサーを提供します。

プリカーサー製品例(ルテニウム)

ルテニウムを中心に、全ての貴金属プリカーサーの開発を行っております

Product Name Structure
Carish
Pale yellow liquid
Carish Pale yellow liquidのイメージ
Ru3(CO)12
Orange crystal
Ru3(CO)12 Orange crystalのイメージ
Ru(EtCp)2
Pale yellow liquid
Ru(EtCp)2 Pale yellow liquidのイメージ

プリカーサーリサイクル技術

当社が開発したリサイクル技術は、これら未反応の使用済み原料を再精製し、新品同様の品質で再提供します。そのため、原料の合成に必要な貴金属・配位子を新たに調達する必要がなく大幅なコスト削減を可能にし、貴金属の価格変動に左右されない安定した価格維持を実現します。

プリカーサーリサイクル技術のイメージ

プリカーサーリサイクルシステム ※特許取得

独自の技術により、低コストでプリカーサーをリサイクルいたします

CVD/ALD材料のリサイクルプロセス ※当社の特許プロセス

CVD/ALD材料のリサイクルプロセスのイメージ